電子特氣被稱為半導體材料的“糧食”和“源”。
在微電子、光電子器件生產(chǎn)過程中,從芯片生長到最后器件的封裝,幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離不開電子氣體,因此電子氣體被稱為半導體材料的“糧食”和“源”。電子氣體成本占IC材料總成本的5%-6%,雖然看似占比不大,但是很大程度上決定了半導體器件性能的好壞。電子氣體純度每提高一個數(shù)量級,都會極大地推動半導體器件質(zhì)的飛躍。
一是深度提純技術(shù)難度較大。以硅烷為例,將其純度由4N提純到6N中間有漫長的道路,除了要解決普通氣態(tài)雜質(zhì)的純化問題,還要將金屬元素凈化到10-9級和10-12級。二是包裝和儲運跟不上。超高純氣體的生產(chǎn)和應用都要求使用高質(zhì)量的氣體包裝儲運容器、相應的氣體輸送管線、閥門和接口,以避免二次污染的發(fā)生。三是分析檢驗觀念落后。國內(nèi)對電子氣體生產(chǎn)應用領(lǐng)域分析檢測技術(shù)的研究開發(fā)工作不夠重視。 目前部分產(chǎn)品已經(jīng)獲突破,國產(chǎn)化率在30%。
目前國內(nèi)在高純硅烷、高純氨、高純笑氣、氖氣等已經(jīng)突破,高純CL2、高純砷烷和高純鍺烷等也突破在即。半導體8英寸上的特種氣體國產(chǎn)化率已經(jīng)達到30%以上。但本土電子氣體的生產(chǎn)和供應商規(guī)模較小,不能夠為用戶提供全方位的服務,目前大多通過低價競爭的方式占領(lǐng)一點市場份額,利潤很薄,甚至虧損。且知識產(chǎn)權(quán)的保護形同虛設。聯(lián)系人：李工
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